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      Bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight CAP

      簡要描述:Bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight CAP

      ——緊湊型高性能剖面儀和AFM

      • 所在城市:上海市
      • 廠商性質:經銷商
      • 更新日期:2022-05-18
      • 訪  問  量:192
      詳細介紹
      品牌其他品牌產地類別進口
      應用領域化工,電子類型?全自動原子力顯微鏡

      Bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight  CAP

      ——緊湊型高性能剖面儀和AFM

      Bruker的InSight CAP自動原子力輪廓儀是專門為半導體制造商和供應商設計的CMP和蝕刻計量組合平臺。靈活的配置支持從100毫米到300毫米的晶圓尺寸,可實現廣泛終端應用的精確測量。從高生產率的實驗室到全自動化的工廠,InSight CAP profiler可以優化配置,以獲得具成本效益的計量解決方案。


      ·< 0.5 nm長期動態再現性

      用于關鍵工藝決策的直接、穩定的在線計量


      ·亞納米
      CMP自動計量的靈敏度,專用碟形和腐蝕計量包,用于過程控制和開發


      ·<20nm
      仿形平面度大于26mm
      針對關鍵EUV光刻技術開發和過程控制的高精度CMP后平面度計量


      Bruker 全自動原子力顯微鏡 InSight  CAP

      在線計量結果以分鐘為單位,適用于蝕刻和CMP的技術開發和過程控制

      在高級技術節點,多模式光刻技術對CMP提出了納米級的過程控制要求,以滿足聚焦深度需求。InSight CAP圍繞新一代AFM掃描儀構建,在65μm X/Y掃描范圍內提供改進的平坦度,小于10納米。該系統的NanoScope®V 64位AFM控制器提供了5倍更快的嚙合性能和5倍更快的調整速度,以提高生產效率,所有這些都提高了可靠性。其DT自適應掃描模式也有助于加快掃描速度和改進計量。InSight CAP高分辨率剖面儀結合了多項先進功能,可在宏觀凹陷和侵蝕中實現埃級精度測量。

      靈活的配置支持從100毫米到300毫米的晶圓尺寸,可實現廣泛終端應用的精確測量。從高生產率的實驗室到全自動化的工廠,InSight CAP profiler可以優化配置,以獲得具成本效益的計量解決方案。



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